另辟蹊徑 向“芯”而行|新型工業化·鏈上新突破

2024/6/3 19:53:19    來源：河南日報客戶端

河南把壯大“7+28+N”鏈群作為推進新型工業化的戰略支撐。經過持續推進，新技術、新產品、新裝備、新業態、新夥伴、新力量不斷湧現，《河南新聞聯播》今起推出係列報道【鏈上新突破】，展現產業鏈群的高質量發展。第一季關注智能傳感器和半導體產業鏈，先來看看這條鏈上有什麼新的技術突破。

這是光刻機，是生產芯片最核心的設備，從它的價值來說，等同於一架大型客機，（支出10億元）。很長一段時間國內無法自主生產。就好比是把電路圖縮印到晶圓這張“相紙”上，所以光刻機的技術門檻堪比登天。

河南廣播電視台大象新聞記者 胡冰冰：給你個電路圖，把它畫到一張A4紙上，很容易，如果要畫到一粒沙子上，就很難了，但如果把這粒沙子放到一架高速飛行的飛機擋風玻璃上，讓你開著另外一架飛機一邊追一邊畫，還不能出錯，是不是覺得不可能？這就是光刻機所需要的極端精度操作雙工作平台。

在超高精度製約下，雙工作平台中控製穩定性和準確性的直線電機組成了最核心的耗材。既然做不出完整的光刻機，就從最關鍵的核心零部件之一直線電機入手，以重點突破帶動全麵提升。客戶出題，企業接招，以製造半導體核心原材料在行業嶄露頭角的東微電子，接了份極具挑戰的千萬級訂單。

河南東微電子材料有限公司 首席工程師 趙澤良 : 客戶是沒有圖紙給你的，你要通過返品，把它所有的參數給推導出來，再測量出來。這樣的產品在光刻機裏麵應用，我們是唯一的一家，也是第一家。

通過接單——研發——成果轉化產品，僅用了半年，東微電子就攻克了芯片用高端靶材，控製協議數據導線這些棘手痛點。現在，研發光刻機用核心耗材，實現各種關鍵零部件國產化替代，就能逐漸掰開卡住半導體行業的“手指”。

河南東微電子材料有限公司 研發工程師 李心然 :我們獨創的熔煉鑄片，氫碎製粉等工藝（製備）釹鐵硼係磁鐵，大幅度提高直線電機的整體磁場強度和實用的穩定性。

河南東微電子材料有限公司 首席工程師 趙澤良 :客戶提需求，我們來做研發，然後做好產品跟客戶去驗證，驗證通過了，客戶會下大量的批量的訂單給我們，通過這種模式，已經達成了幾十項的（零部件）國產化，可以把卡脖子的問題的一步一步分解了。

放眼全省，像這樣的技術突破很多：在省科學院，著力突破芯片設計、版圖等方麵關鍵核心技術難題，力爭最短時間實現 3D-XRAM存儲器芯片在河南的產業化。

在平頂山，中科瑞景電子特氣氧化亞氮技術、產能國內領先。

在南陽，率先推出了新一代高端熱釋電紅外傳感器。

通過新技術帶動，越來越多的從0到1、從1到100的跨越在智能傳感器和半導體產業鏈上迸發。

 【記者觀察】從0到1是突破，從1到N是發展。“從無到有”需要大膽開拓，而“從有到優”更需要深耕與創新。從東微電子的直線電機技術，到全省範圍內多項技術創新的湧現，河南正以“人一之我十之”的拚勁兒，開拓和深耕新技術。推進中國式現代化建設河南實踐，需要持之以恒地用好科技創新這把金鑰匙打開更多新技術的大門，讓高質量發展的道路越來越寬。

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